请教下,膜厚仪都有些什么特点??
据百度介绍立仪科技膜厚仪的特点是:
1、高速度、高精度测量系统。 2、最大160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。
1、高速度、高精度测量系统。 2、最大160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。
测厚仪和膜厚仪一样吗
如果是从电镀测厚角度来说是一样的,膜厚仪也叫做镀层测厚仪,如下图;涂层测厚仪是一种用于测量样品表面涂层或薄膜厚度的设备,通常可以根据不同的测量原理和应用场景测量不同类型的涂层。一般来说,涂层测厚仪可以分为防火涂层测厚仪和防腐涂层测厚仪两种类型,不同类型的涂层测厚仪具有不同的测量原理和适用范围。防火涂层测厚仪通常采用磁性或电感测厚原理,适用于测量防火涂料或其他磁性涂层的厚度。防腐涂层测厚仪则通常采用涡流或电涡流测厚原理,适用于测量金属表面上的防腐涂层或其他非磁性涂层的厚度。因此,不同类型的涂层测厚仪具有不同的测量范围和适用范围,需要根据具体的测量需求选择合适的涂层测厚仪进行测量。如果需要测量防火涂层和防腐涂层两种类型的涂层厚度,则需要使用两种不同类型的涂层测厚仪进行测量。
薄膜测厚仪如何使用 具体检测方法有哪些
在化工生产领域、电力领域、金属领域等行业当中,为了实现对不同种类材料的保护和装饰作用,此时应该要采用喷涂有色金属等。物体表面喷涂了一些物质,就会形成薄膜,如果薄膜过厚,就会浪费资源,厚度薄,则没有起到保护作用,所以对薄膜的厚度是有要求,为了进行检测,就需要使用到薄膜测厚仪。
对产品测量使用到厚度测量,是整个加工工业领域当中,非常重要的因素所在。也是确保产品质量,非常重要的工序。而与此同时,在国内都采用了统一的方式,因此测量结果更加准确。对于广大用户来说,明确薄膜测厚仪检测方法的时候,应该要从多个角度考虑,只有这样才能确保相应的效能,最大程度满足自身使用所需。
在一开始的时候,应该要充分明确薄膜测厚仪的工作原理。在整个测量过程中,主要是相应的距离比例。通过对相关距离的测量,相应的覆盖厚度,自然会有所提高。尤其是很多工业品,都采用了结构钢和热轧冷轧冲压成形,因此磁性测量应用范围,相对而言更加广泛。特别是明确磁钢与被测量物体吸收特性的时候,应该要使用到弹簧,并且逐渐拉长,并且相应的拉力要逐渐增大。通常情况下,在使用的时候,应该要明确拉力的大小。同时要掌握相应的精确度,满足工业应用要求。当然薄膜测厚仪有着自身的特点,主要表现为操作非常简单,而且弹簧耐用,不需要使用到电源,测量前的校准,而且价格比较实惠,特别适合在车间进行操作。
当然薄膜测厚仪也属于电子产品,因此在校准过程中,相对而言比较容易,可以实现多种功能,同时可以扩大量程,提高精度。尤其是相应的测试条件,可以降低许多。因此在整个磁吸力方面,自身的应用更加广泛。磁通的大小,将会直接影响到测量结果。所以在明确薄膜测厚仪检测方法的时候,充分掌握相关特性,相对而言显得非常重要。
膜厚测试仪的介绍
膜厚测试仪,分为手持式和台式二种,手持式又有磁感应镀层测厚仪,电涡流镀层测厚仪,荧光X射线仪镀层测厚仪。手持式的磁感应原理时,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小,来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度。台式的荧光X射线膜厚测试仪,是通过一次X射线穿透金属元素样品时·产生低能量的光子,俗称为二次荧光,,在通过计算二次荧光的能量来计算厚度值·
光学膜厚仪的使用及原理
光学薄膜测厚仪 (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明
SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer,glass等substrates上形成的氧化膜,氮化膜,Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。
测量原理如下:在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光,这时光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。
仪器的光源使用Tungsten Lamp,波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理,测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一,有image processs功能,是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm,远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到,使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。
K-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板,铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率,玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻,接触角度 (Contact Angle) 等的功能。
产品说明
本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。
这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中作为
In-Line monitoring 仪器使用。
产品特性
1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。
2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。
3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。
4) 可测量 3层以内的多层膜。
5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。
6) 产品款式多样,而且也可以根据顾客的要求设计产品。
7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )
8)Table Top型, 适用于大学,研究室等